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广州四探针科技 RTS-1389型全自动四探针测试系统直接观察到整个晶圆片的电阻率或方块电阻大小的分布，全自动四探针测试系统 RTS-1389型可对样品进行49点、81点、中心1点、中心10点、中心半径5点、中心边缘5点、中心半径边缘9点、直径扫描等测试；统计分析测试数据生成2D和3D的map图， RTS-1389型全自动四探针测试系统国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计
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